半导体微电子产品的制造过程中，温湿度对产品质量和性能具有显著影响，过高的温度会导致芯片内部的热应力增大，降低产品的可靠性；而过低的温度则可能导致生产过程中的化学反应速度减缓，影响生产效率，此外，湿度过高可能导致设备内部腐蚀，影响设备的正常运行和寿命。因此，准确监测和控制生产环境的温湿度对于确保产品质量和生产效率至关重要。
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